耐高压型气体质量流量控制器/流量计

简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有耐高压，精度高，稳定性好，可选模拟电路或数字电路，可靠性高等特点。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

耐高压型气体质量流量控制器/流量计产品介绍：本公司生产的热式气体质量流量计/控制器，为精度高、响应快、稳定性好、性价比高的自动测控产品，其流量精度不受气体压力、环境温度的影响，适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型，超大流量型，应用领域广泛，可用于真空及高压等特殊领域                                                                               

 产品特点：

  耐高压

精度高

可选模拟电路或数字电路

响应速度快

产品用途：

广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

技术参数

产品型号	LF420-F（模拟型）	LF485-F（数字型）
满量程范围	SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比	控制器50:1	流量计100:1
精度	±1.0%F.S
线性	±0.5%F.S
重复性	±0.2%F.S
阀门类型	常闭阀
响应时间	≤1S-3S
工作压差	0.1...0.5Mpa
最大耐压	10MPa
工作环境温度	5...45℃
泄漏率	1×10-8Pa.m3/s
通信信号	0-5V / 4-20MA    / RS232-485 MODBUS协议
供电方式	24VDC（250mA）
密封材料	丁晴橡胶  氟橡胶
接头尺寸	3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”
电器接头	DB15针