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传统激光的问题存在以下:
传统三角测距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光点位置变化来测量被测物的距离变化。虽然通过从感光波形计算出峰值或重心等特征量可减小误差,但从原理上,材质不同或对象物倾斜会导致感光波形出现位置偏差或波形混乱,从而产生测量误差。
使用传统三角测距法时,随着高度不同,测量位置或光斑大小会发生改变。而共焦位移传感器的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或翘曲,也可进行高精度的测量,测量点不会改变。
被测物倾斜角度过大时,受发光的像差影像, 由于其同轴共焦原理,所以无像差干扰问题,即使有测量值,也有可能和真值有很大偏差。即使被测物有过大倾角也不会影像测量精度。
镜面、透明、半透明体表面也可以有超强角度特性传统三角测距法,测量镜面体时,对传感器的安装角度有苛刻的要求。
在使用多头测量玻璃或柔性样品厚度的应用中,安装时必须对各个传感器进行高精度的角度调整。
使用共焦位移传感器,无需严格的角度调整就可进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大影响。
1.表中给出的数值是典型值,LHCLO,LHCL2,LHCL3,LHCL4有±3%的偏差;LHCL1,LHCL5,LHCL6有±6%的偏差;
2.最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。:
3.在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
4.光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
5.轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以最佳的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
6.精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置:自动适应LED模式,最优的速度,倾角为0。,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并指定每个传感器的校准证书交付;