ERT光谱共焦位移传感器原理简介

1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。

2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。

3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有完美聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的精确距离值。

4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.

光谱共焦位移传感器 CCS-200 广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。

光谱共焦位移传感器  CCS-200 典型应用：

精确定位                      LAMOST光纤定位，平面的定位等

旋转体跳动测量           机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等

透明体厚度测量           玻璃厚度，透镜厚度，膜厚，水膜厚度等

轮廓/3D形貌测量        透镜轮廓扫描，磨损量测量，3D形貌扫描等

微位移振动测量           压电驱动器微位移振动测量，磁致伸缩位移，生物力学形变

在线检测

高测量速度和开放的接口，可以应用于生产线相关的检测或控制系统

色散原理具有超高的耐表面性，高光洁表面也可以稳定检测