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光谱共焦位移传感器具有超强的测量能力,可以稳定的测量任何材质(如,镜面、玻璃、不锈钢、白色陶瓷、高光金属、基板等)无论什么表面均可在1μm内稳定测量。即使多种材质存在,用同一安装方式也可以稳定测量。
光谱共焦位移传感器具有超强的角度特性,可测倾角87°,由于其同轴共焦原理,所以无像差干扰问题,即使被测物有过大倾角也不会影响测量精度。
镜面、透明、半透明体表面也可以有超强的角度特性,使用光谱共焦位移传感器,无需严格的角度调整就可以进行高精度测量。即使被测物在运动过程中的跳动也不会对测量造成过大的影响。
对于透明体内测激光切割的定位,光谱共焦位移传感起可一通过单点定位到对应的位置。
光谱共焦位移传感器原理
光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。
通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。
光谱共焦位移传感器具有超强测量能力,可稳定测量任何材质。
传统三角测距法对于反光较强的表面测量精度较差,光谱共焦位移传感器无论什么表面都可以在1μm精度内稳定测量。即使同时存在多种材质,使用同一安装方式也可以稳定测量。不用针对每一种材质进行重新安装或者调节,对于多种材质存在的被测物,也可用一个传感器,一种安装方式测量。