ERT的白光同轴共焦光谱检测技术让我们进入纳米级的测量领域

产品的独特性能

1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；

2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；

3. 超高精度测量：小线性度可达0.03μm，高分辨率为0.3 nm；

4. 从100μm-42 mm的可选量程；

5. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；

6. 测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，大可测倾角87度；

7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的精确测量，小可测量厚度为400 nm；

8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

光谱共焦位移传感器 CDS-200 广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。

光谱共焦位移传感器  CCS-200 典型应用：

精确定位                      LAMOST光纤定位，平面的定位等

旋转体跳动测量           机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等

透明体厚度测量           玻璃厚度，透镜厚度，膜厚，水膜厚度等

轮廓/3D形貌测量        透镜轮廓扫描，磨损量测量，3D形貌扫描等

微位移振动测量           压电驱动器微位移振动测量，磁致伸缩位移，生物力学形变

在线检测

高测量速度和开放的接口，可以应用于生产线相关的检测或控制系统

色散原理具有超高的耐表面性，高光洁表面也可以稳定检测