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ERT光谱共焦测量技术的优势
角度特性更大 角度特性是指可测量样品的最大倾角。激光位移传感器测量非平面时,因回光产生相差无法准确测量倾斜或曲面,采用光谱共焦测量技术可以保证即使被测物存在过大倾角或曲面,也可以进行高精度的形状测量。针对漫反射表面光谱共焦位移传感器测头可以达到±87°,针对镜面反射光谱共焦位移传感器各种测头基本都可以达到±20°以上。角度特性差会导致众多异形位置无法正常测量。测量非平面表面,尤其针对3D玻璃轮廓、点胶胶水高度及高光金属表面段差时,必须使用高端光谱共焦传感器。 3D玻璃轮廓测量
厚度测量模式
在测量玻璃、镜片等透明样品时,不同波长的两束光在样片正反表面聚焦,在导入样品折射系数参数之后,可计算出该样品的厚度值。相比于游标卡尺等传统的接触式测量工具,光谱共焦测量拥有所有非接触式光学测量的优势,同时还具有单侧测量即可获取样品厚度值的特性。
折射系数直接影响厚度测量的数据精度,因此在测量开始时应先确认样品的折射率。折射率可参考同类材料的数值,但如需获得更高精度的厚度测量结果,需借助折光仪测得样品的折射率。
模式切换
光谱共焦的两种测量模式可在软件界面中自由切换,无需重新启动设备或系统。因此,无论是样品表面尺寸测量,还是透明材质厚度测量,亦或是同时获取透明样品的外观尺寸和厚度信息,光谱共焦测量技术都能从容应对。