ERT光谱共焦传感器技术详解

光谱共焦传感器既可以在工业环境中实现在产品生产过程中在线检测，也可以在实验室中用作高精密仪器。其主要应用有：

1. 显微成像（测试样品形貌）

2. 维度控制（测试工业产品的某些特征是否符合标准）

3. 品质管理（对工业产品缺陷的识别和标记）

4.粗糙度测量（测量样品表面的统计特征）

5.摩擦学（机械侵蚀和化学腐蚀特性）

6. 厚度测量

光谱共焦传感器完全和关于表面纹理的3D测量和分析的ISO25178标准兼容。此外，这个标准的601部分，专用来讲述关于非接触式测量的，引用CCI（色散共焦成像）作为第一参考技术。

光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，纺织品，纸，皮革……）制成的样品。能够测量抛光表面（镜子，镜头，晶片）也能测量粗糙表面。

1. 测头的光学特性，特别是光斑尺寸，轴向分辨率和最大倾角应该和被测量样品呈现的尺寸，倾角相合适。

2. 金属物体应该用CL1或者CL2测头测量，特别是测量粗糙度时或者实际应用需要高的分辨率。

当用光斑更大些的测头测量金属物体时，它的测量可能达不到规定。精度下降多少取决于金属表面的微观结构。

3. 测量模式

光谱共焦传感器有两个测量模式： 位移 和 厚度 。

CCS-100的主要测量模式是位移模式。

传感器就是在这个模式下校准和测试的。一份带有证明测试结果的校准证书和传感器一起交付使用。