DSN-700大量程气体质量流量控制器（带通讯接口）技术标准

标准介质：（N2）

量程：（0~10,30）SLM

准精度：±1％F.S； ??

?重复精度：±0.2%F.S
线性：±（0.5～1）％F.S
工作压差范围：0.05～0.3MPa；???

?耐压：3，10MPa
工作环境温度：5～45℃；

?输入输出信号电压：0～+5.00V
电源：24V
电连接器：D15pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：约1.0kg
接口尺寸：Swagelok?:Φ3.Φ6.Φ10.1/4〞.3/8〞....
VCR接头：1/4〞.3/8〞.1/8〞........

一、概要介绍

质量流量控制器是与东莞德欣产品DSN-MFC600CD以及DSN-MFC700型配套的控制操作触屏。实现MFC对气体的控制仪表。

功能：

①流量设定：在阀控状态下，以F.S满量程为基准，设定范围“0~110%F.S”（注：“0”-根据MFC不用，范围可能是2~110%）。

②流量读取：自动读取实时流量值。

③清洗（清扫）：在安装气路过程中，方便清除管道内的异物，确保管路的清洁。注：间断使用，不可长时间使用。

④关闭：实现MFC的关闭功能。注：间断使用，不可长时间使用。

⑤累积流量设定：控制一定总量的气体，到想要的总量，自动关闭。在“流量设定”的某一个值下，设定气体总量，实现总量控制。

⑥定时控制：某一设定流量下，在一定时间内控制流量。

⑦实时流量记录：查看气体流量的记录表。可以用U盘存贮。

⑧实时流量曲线：查看气体流量的实时曲线。

⑨多气体种类的选择。实现一个MFC控制多种气体。

⑩分段流量控制：气体流量的曲线控制