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商品详情
- 電解研磨仕上げおよび、精密洗浄処理
- VCR?UJR継手の1/4, 3/8, 1/2およびオネジ?メネジに対応
- 接液部材質にSUS316L(VIM+VAR)を用いた耐腐食構造
半導体産業用クリーン型アンプ内蔵圧力センサ
VSHS/VSHT series
0.3MPa～20MPa
| 測定媒体 | 各種ガス?液体などSUS316Lを腐食させない媒体 |
|---|---|
| 測定種類 | 正圧?連成圧の測定が可能 |
| 測定範囲 |
定格容量0.3～20 MPaの範囲でご指定可能です また、-0.1～1MPaなどの連成圧での校正も可能です |
| 出力種類 | 4～20mA(2線式),1～5V,0～5V,0～10Vからご指定ください |
仕様
| 精度 | ±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.6%R.C.) |
|---|---|
| 温度補償範囲(測定媒体温度) | 0～60℃(結露、氷結不可) |
| 許容温度範囲(測定媒体温度) | 0～80℃(結露、氷結不可) |
| 温度ドリフト | ±0.5%R.C./10℃ |
| 許容過負荷 | 200%R.C.(20MPa:150%R.C.) |
| リーク量 | 1×10-10Pa?m3/sec.以下 |
| 受圧接液部材質 |
SUS316L(VIM+VAR) VIM:真空誘導溶解法 VAR:真空アーク溶解法 |
| シール方法 | 特殊電子ビーム溶接 |
| 接液部表面仕上げ | 電解研磨(Ra0.3μm以下)および精密洗浄 |
| 継手形状 |
VCR対応1/4?3/8?1/2オネジまたはメネジ UJR対応1/4?3/8?1/2オネジまたはメネジ |
| ケーブル |
PVC被覆4芯(電流タイプは2芯)シールド 3m(UL規格対応品) 直出しまたはコネクタ接続 |
| 質量 | 約280g(ケーブル3m含む) |
| 付属品 |
取扱説明書1部(和文または英文をご指定ください) 試験成績書1部 |
