徕卡工业检验金相显微镜DM3 XL

高效检验 6"样品
检验、过程控制或缺陷和故障分析全部与速度相关：任何缺陷都有可能使生产陷入瘫痪；您需要一台显微镜来帮助团队尽快且尽可能准确地检测缺陷。
DM3 XL 检验系统助您节省检验时间。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。DM3 XL为中等预算用户提供高端品质，因为您没有时间去妥协。

更多细节尽收眼底，工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。DM3 XL 检验系统提供独特的物镜，可快速扫描最大 6" 的组件。放大倍率为 0.7x 的宏观物镜能够即刻采集 35.7 mm 的视场—比可用的扫描物镜宽敞 30%。通过常规扫描物镜看不见的区域在宏观概览下无所遁形：晶片边缘或中心

适用于所有相衬观察方法的 LED

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明：明场、暗场、微分干涉相衬 (DIC)、偏光和斜射照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。因此，您

始终可以看到相同颜色的样品，获得可复制的结果。凭借长达 35,000 小时的使用寿命和低能耗，LED 还具有巨大的成本节省潜能，并优化公司的碳排放。

>在所有亮度等级下实现真彩色成像

>自由调节

>没有更换灯泡导致的停机时间

LED 照明—“恒定”光照

>超亮、高功率 LED 照明

> 4500 K 恒定色温

>在所有亮度等级下实现真彩色成像

>使用寿命长 (35k h)，8 小时/天 = 20 年

>自由调节

>无停机时间 (灯泡更换)

>适用于明场 (BF)、暗场 (DF)、微分干涉相衬 (DIC)、偏振 (POL)

荧光 (FL) 和斜射照明

>不产生热量

>亮度感知高于 100 W 卤素灯泡

徕卡高性能物镜

徕卡工业检验金相显微镜DM3 XL让您以实惠的价格享受到专业的光学特性，

例如斜射照明或深暗场对比。

>通过斜射照明检查侧面、边缘或碎屑

>使用深暗场物镜查看最小的颗粒

>符合国际标准

斜射照明非常理想地适用于侧面、边缘或碎屑检查。它可以帮助您从不同的角度照亮样品，是简单有效的形貌可视化方法—即使是由于抗蚀剂残留物导致的透明形貌也能得到理想的照明。

深暗场对比的灵敏度大幅提升—尤其适用于检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。此外，暗场物镜的大工作距离还可以保护珍贵样品，避免其在检验中意外受损。当然，DM3 XL 也符合 SEMI S2/S8 或 CE 等国际规范和标准。

操作人员控制更简单

采用人体工学设计的显微镜改进的不只是舒适度—它们在减轻肌肉劳损的同时，还有助于提高生产率。即使经过较长的工作时间,DM3 XL 依然支持您的团队交付优结果。

适用于特殊样品需求的不同载物台插件

无论您要检查哪种尺寸和类型的样品，DM3 XL 均可为您提供不同的载物台插件选择—金属插件、晶片支座或掩模支座。为了便于找到载物台上的样品，150 mm x 150 mm 载物台可帮助用户进行快速的粗略或精准载物台定位。

满足多种需求的软件解决方案

选择专用软件模块来升级您的 DM3 XL，为您的应用提供全程指导。LAS X 软件可提供高品质解决方案，尤其是在需要高样品通量的环境下。蒙太奇模块通过创建高品质扩展焦点图像来增加通量；多级模块可自动采集并轻松存储从拼接图像创建的 2D 图像。使用图像分析模块，在采集、检测和测量特性及颗粒的过程中实现自主引导；并通过交互式测量模块使用丰富的测量手段。