任氏巨源微波化学气相沉积炉
任氏巨源微波化学气相沉积炉
产品价格:¥280000(人民币)
  • 规格:WBMW-QXCJ4
  • 发货地:河北唐山市
  • 品牌:
  • 最小起订量:1台
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    会员级别:试用会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:唐山任氏巨源微波仪器有限公司

    联系人:董强(先生)

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    邮编:063020

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    商品详情

      一、任氏巨源微波化学气相沉积炉特点:

      1. 高温微波化学气相沉积炉,采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的非易燃易爆材料,

      2. 升温速率快,智能控温,可分段设置,控温稳定度好,热惯性小。同时加热多个温区,且加热区长度可调。

      3. 可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩泵和分子泵,可达10-3Pa真空状态。

      4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构),耐高温、耐腐蚀;

      5、保护管采用耐高温合金管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;

      6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;

      7、真空系统:机械泵 扩散泵和分子泵,真空密度计

      8、可通过电脑全程监控和调试;

      二、任氏巨源微波化学气相沉积炉产品参数:

      型号/model

      WBMW-QXCJ4

      可加热材料

      非易燃易爆的任何材料

      微波频率

      2.45GHZ±50MHz

      加热方式

      纯微波加热、~传统电加热、混合加热

      微波功率/KW

      4 ?(功率可调)

      温度测试元件

      微波场专用传感器

      控温精度/

      ±2(微波场专用传感器)

      加热管材质

      石英管

      高温合金管

      刚玉管

      加热温度/

      1200

      1200

      1600

      管径(外径/内经X长度)/mm

      ?45/?35×1200,可选配,外径?60

      加热速度

      200

      升温速率不限

      50

      恒温区长度

      标配恒温区长度100mm,恒温去长度100mm以上可定制

      温区

      可多温区同时加热

      气路法兰

      304不锈钢法兰

      质量流量控制

      美国Alicat质量流量&控制器七星华创质量流量&控制器 气柜、气路及各类阀门,可配套计算机自动控制系统及软件

      气路数量

      2路或3

      流量范围

      0-1SLM(标准升/分,可选配)氮气标定

      精度

      ±0.2%F.S

      响应时间

      1sec

      工作压力

      进气压力0.05-0.35Mpa(表压力),流量规格≤10SLM

      系统连接方式

      采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

      系统真空范围

      标准大气压~10-3Pa

      真空泵

      简单机械泵抽真空和不锈钢法兰

      10-1Pa真空机械泵及真空计

      10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计

      10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计

      炉腔尺寸/mm

      700X350X530

      加热腔(标配)

      0.5-3L 2

      加热腔大小

      0.94L2.12L3.8L

      升温速率(标配)

      01000/min可根据实际任意设定,可编程、分段加热

      外型尺寸/mm

      15007501560

      微波泄漏/ ?mW/

      0.4

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      防护手套×1中文说明书×1

      保质期

      整机免费保修1


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