一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰^[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。

二、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉产品特点：

1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子场环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的工作气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。

三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数：

型号/model	WBMW-DLZ3
可加热材料	非易燃易爆的任何材料
微波频率	2.45GHZ±50MHz
加热方式	纯微波加热
射频功率/KW	3 ?(功率可调)
工作温度/℃	1200
长期工作温度/℃	≤1100
温度测试元件	微波场专用传感器/红外测温可选
控温精度/℃	±2（微波场专用传感器）
石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm	φ102/φ92x1000
真空系统配置（可选）	简单机械泵抽真空和不锈钢法兰； 10-1Pa真空机械泵及真空计； 10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计； 10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计；
升温速率(标配)	0～1000℃/min可任意设定，可编程、分段加热
外型尺寸(长x宽x高)/mm	1000′750′1830
微波泄漏量/ ?mW/㎝	≤0.4
提供相关配件	防护 手套×1、中文说明书×1
保质期	整机免费保修1年

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