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LLF4系列半导体行业专用质量流量计美国ALICAT-LLF4系列质量流量计-耐腐蚀质量流量计
Alicat的LLF4系列数字式质量流量计可精确、快速测量
腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
LLF4系列半导体行业专用质量流量计-耐腐蚀质量流量计 性能参数
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性能/参数 |
LLF4系列质量流量计 |
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流量范围 |
0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
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标定气体 |
内置130条气体可选择 含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等) |
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精度(调零后) |
±(0.8%Rd+0.2%FS) |
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高精度(调零后) |
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
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重复性 |
±0.2%FS |
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漂移(零点/满量程) |
0.02% F.S/oC/Atm |
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工作范围 |
0.5-100% |
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响应时间 |
10毫秒(调整) |
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启动预热时间 |
1秒内 |
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标准工况 |
25oC & 14.696 psia，可自定义修改 |
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工作温度范围 |
-10~-50℃(另有高温订制品) |
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工作湿度范围 |
0-100%RH(非冷凝) |
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最大工作压力 |
10Bar |
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最大压差 |
5Bar |
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安装方向 |
任意 |
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阀门状态 |
常闭 |
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材质 |
SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez) |
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显示屏 |
背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度 |
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数字信号 |
标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
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模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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第二路模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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电气接口 |
标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
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供电电压 |
+24VDC |
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消耗电流 |
100mA |
美国ALICAT-LLF4系列质量流量计-耐腐蚀质量流量计的 电气连接
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针脚/颜色 |
定义 |
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1针(黑色) |
4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针 |
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2针(棕色) |
不用连接,如选第二路 输出信号可接 |
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3针(红色) |
RS232 输入串口RS232 输入串口 |
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4针(橘色) |
远程清零 |
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5针(黄色) |
RS232 输出串口 |
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6针(绿色) |
0-5V或0-10V输出信号 |
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7针(蓝色) |
+24VDC供电 |
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8针(紫色) |
接地(同时作用于电源、通讯、模拟) |
备注：以上是标配圆新8芯接线注解，其他接口来电咨询
压损、管路接口
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流量 |
压损(PSID),排放大气中 |
接口 |
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0.5-1SCCM |
1.0 |
1/8NPT母螺纹 |
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2-50SCCM |
1.0 |
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100SCCM-20SLPM |
1.0 |
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50SLPM |
2.0 |
1/4NPT母螺纹 |
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100SLPM |
2.5 |
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|
250SLPM |
2.1 |
1/2NPT母螺纹 |
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500SLPM |
4.0 |
3/4NPT母螺纹 |
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1000SLPM |
6.0 |
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1500SLPM |
9.0 |
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2000SLPM |
5.0 |
|
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3000SLPM |
7.1 |
1-1/4NPT母螺纹 |
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4000SLPM |
2.7 |
2”NPT母螺纹 |
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500SLPM |
3.4 |
