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5100系列
日本KOFLOC
5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下
内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
性能参数
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5100质量流量控制器 |
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量程(N2) |
1SCCM-20SLPM |
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精度 |
±1.0%FS |
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重复性 |
±0.2%FS |
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响应时间 |
1秒以内 |
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耐压 |
1.0Mpa |
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进口最大压力 |
O.3Mpa |
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动作压差 |
0.05-0.3Mpa |
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泄漏率 |
1*10-11pa·m3/s以下 |
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内抛光 |
Ra≤0.1 |
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温度范围 |
5-45℃ |
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湿度范围 |
10-90%RH(不能结露) |
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材质 |
本体SUS316L |
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密封圈SUS316L、PTFE |
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电气接口 |
DB9 |
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模拟信号 |
0-5V输入/输出 |
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供电 |
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
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管路连接 |
标配1/4UJR |
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选配1/8UJR |
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重量 |
约1000g |
电气连接
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针脚/颜色 |
定义 |
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1针脚/棕色 |
阀门全开/全闭 |
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2针脚/白色 |
0-5V输出 |
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3针脚/红色 |
+15VDC |
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4针脚/黑色 |
电源COM |
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5针脚/黄色 |
-15VDC |
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6针脚/灰色 |
0-5V输入 |
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7针脚/绿色 |
输出COM |
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8针脚/兰色 |
输入COM |
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9针脚/紫色 |
阀门电源输出 |
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口最大压力3公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
