新一代单晶硅压力变送器

国内压力变送器变革历程

上世纪三线建设时期的60年代至70年代，工业企业在广大中西部遍地开花，当时工业变送器已经开启国产化，大量使用力平衡式DDZ-Ⅱ型、DDZ-Ⅲ型变送器，相比新一代单晶硅压力变送器，精确度很低，性能稳定性差，故障率高。

伴随改革开放80年代国门打开，西安彼表厂与美国罗斯蒙特公司合作，生产出1151系列变送器，开启国外变速器进入中国市场先例，随后日本富士FC系列、日立EDR/EPR系列变送器由上海自动化仪表一厂、兰炼仪表厂、大连仪表厂引进生产。

90年代更多外国品牌进入中国。四川仪表总厂与横河公司合资生产EJA系列变送器;ABB公司与中国威尔泰公司合作，生产MV2000T智能变送器;日本富士与浙大中控仪表公司合作生产CXT变送器;西门子、德国E+H、ABB等公司也都在中国建立了变送器生产线。

压力变送器发展速度很快，基本上十年革新一次，上述三个时代，大体可以划分为模拟、智能和现场总线三代产品。

新一代单晶硅压力变送器特点

新一代单晶硅压力变送器，其单晶硅是硅的单晶体，具有金刚石晶格，采用切、磨、抛、光刻、键合、膜屏蔽等先进的工艺技术和流程，对敏感元件加工。产品优势显著。

卓越的抗干扰能力。立格单晶硅压力变送器全隔离封装，将单晶硅敏感元件绝缘安装在传感器膜盒内部，具有避免测量和环境温度变化、电气干扰、机械振动的影响。

出色的高频响应能力。单晶硅本身属性，固有谐振频率超过500Hz，压力传递到敏感元件上，立即被感应被转换为信号输出，整体响应时间不超过5mS，适合高频动态场合应用。

强大抗过载能力。立格单晶硅压力变送器具有双过载保护技术，中心膜片和隔离膜片组成双过载保护。纵然压力过载，独特的结构也不会让填充液再传递给敏感元件，从而实现过载保护。并且恢复正常后不影响测量。

高精度传输。传感器模块化结构，所有计算数据均保留于传感器膜盒内部自带内存中，在后续生产和维修时，变送模块读取内存数据，能实现高精度输出。

单晶硅压力变送器与电容压力变送器和扩散硅压力变送器的优势

曾经流行的传统电容压力变送器，虽然各彼表厂努力改进性能，一度因为选用选用性价比高的隔离型变送模块，备受市场瞩目。主要从改良金属电容抗干扰能力，可惜与外部短接的结构缺陷，无法彻底改变。全隔离的单晶硅传感器在抗干扰方面优势巨大。

相对用户规模大的经济型扩散硅压力变送器，单晶硅压力变送器在微差压状态下，其优势显示出一骑绝尘之势。在现场工况环境苛刻的背景下，单晶硅压力变送器优势不容替代。是流程工业领域压力变送器革新性产品。