商铺名称：郑州科探仪器设备有限公司
联系人：宋工（）
联系手机：
固定电话：
企业邮箱：
联系地址：高新技术产业开发区西三环路289号6幢11单元3层73号
邮编：
联系我时，请说是在口碑仪器网上看到的，谢谢！
商品详情
KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。
|
控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
|
溅射电源 |
直流溅射电源 |
|
镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
|
功率 |
≤1000W |
|
输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
|
极限真空 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
|
溅射真空 |
≤10Pa |
|
挡板类型 |
电控 |
|
真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
|
样品台 |
可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
|
样品台转速 |
8转/分钟 |
|
样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
|
真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
|
预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
