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等离子清洗机作为一种微观固体表面的处理设设备，是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体，采用了新型的电极结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
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设备型号 |
KT-Z2DQX |
KT-S2DQX |
KT-Z5DQX |
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控制方式 |
7寸触摸屏人机界面 |
7寸触摸屏人机界面 |
7寸触摸屏人机界面 |
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供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
1000W |
150W |
300W |
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匹配方式 |
自动匹配 |
手动匹配 |
自动匹配 |
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清洗频率 |
40KHz |
13.56MHz |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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工作真空 |
≤50Pa |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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腔体容积 |
2L(内径110MMX深度220MM) |
2L(内径110MMX深度220MM) |
5L(内径160MMX深度310MM) |
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观察窗内径 |
Φ50 |
Φ50 |
Φ70 |
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气体流量 |
0-300ml/min（热式质量流量传感器X2个） |
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真空计量程 |
1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空计） |
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过程控制 |
手动/自动切换 |
手动/自动切换 |
手动/自动切换 |
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清洗时间 |
自动开关 |
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开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
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外形尺寸 |
150*500*250mm |
450*460*370mm |
530*580*420mm |
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重量 |
20kg |
35kg |
40kg |
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真空室温度 |
小于65°C |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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标配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 |
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