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热式混合气体质量流量控制器热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻组成。一个是速度传感器,一个是测量气体温度变化的温度传感器。当这两个置于被测气体中时,其中传感器被加热,另一个传感器用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加,气流带走更多热量,传感器的温度下降。