半导体芯片退火模温机

产品价格：￥28600（人民币）

规格：MPO

发货地：本地至全国

品牌：

最小起订量：1台

立即询价进入商铺

迈浦特机械（四川）有限公司

免费会员

会员级别：

认证类型：企业认证

企业证件：通过认证

认证信息：迈浦特机械(四川)有限公司

商铺名称：迈浦特机械（四川）有限公司

联系人：赵元圆（迈浦特机械）（小姐）

联系手机：

固定电话：

企业邮箱：zhaoyuanyuan@maipt.ltd

联系地址：中国(四川）自由贸易试验区成都高新区天府大道北段1700号N3区21楼2125迈浦特机械

邮编：

联系我时，请说是在口碑仪器网上看到的，谢谢！

商品详情

半导体芯片退火模温机

邮：zhaoyuanyuan@maipt.ltd
支持非标定制，免费提供技术规格书、方案。
联系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②

用途特点

专为半导体芯片退火工艺设计，控温范围覆盖 45℃~180℃（其他温度可定制），可精准匹配芯片退火过程中升温、恒温、降温各阶段的温度需求。通过稳定控制退火炉模具温度，确保芯片在高温下实现晶格重组与应力释放，避免因温度不均导致的芯片开裂、电学性能异常等缺陷，提升芯片良率与可靠性，适配硅基芯片、化合物半导体等的退火处理场景。

核心优势

高精度温控保障退火质量

采用迈浦特定制 PLC 控制系统，9 组独立 PID 温区段控温，基础精度达 ±1℃（±0.1℃可选），支持进出口温度相互切换控制。可根据退火工艺要求调节控温速率（斜率 / 快速），精准控制升温速率（如 5℃/min~20℃/min）与恒温时长，确保芯片在 100℃~150℃关键退火区间的温度稳定性。

高效加热与循环能力

加热功率 6~720kW 可调，采用直接加热方式，搭配迈浦特定制耐温油泵（耐温 - 40℃~320℃），流量 6.5~250m3/h，扬程 28~100m，确保导热油在高温下循环高效，快速响应退火炉的瞬时温度需求。全系统管路采用无缝氩弧焊接工艺，减少热量损耗与泄漏风险，满足半导体生产洁净要求。

多重安全防护与智能操作

配备温度异常自动断电、泵浦超载保护、缺油报警、管路阻塞泄压等 10 重安全装置，高温球阀耐温达 230℃，通过 BY-PASS 泄压回路保护泵浦。支持 100 组可编程工艺程序，7 寸触摸屏实时显示温度曲线，数据可通过 USB 导出，便于追溯退火工艺参数。进出管径可根据退火炉接口定制，适配不同生产规模需求。

技术参数（典型机型）

名称	参数
控温范围	45℃~180℃
控温精度	PID ±1℃（±0.1℃可选）
加热功率	6~720kW
循环介质	导热油
通讯方式	Modbus RS485（可定制其他协议）
电源	3N-380V-50Hz（可定制）

适配场景

适用于半导体芯片的快速热退火（RTA）、炉管退火等工艺，可通过预设不同芯片材质的退火温度曲线（如硅片退火、氮化镓芯片退火），提升生产效率与产品一致性。设备膨胀箱容量 25L~5000L 可选，支持远程控制、流量监测等特殊功能扩展，且享有 1 年免费保修服务，为半导体芯片退火工艺提供专业温控支持。

半导体芯片退火模温机技术规格书示例